ICP的工作原理：感耦等离子体原子发射光谱分析是以射频发生器提供的高频能量加到感应耦合线圈上，并将等离子炬管置于该线圈中心，因而在炬管中产生高频电复磁场，用微电火花引燃，使通入炬管中的氩气电离，产生电子和离子而导电，导电的气体制受高频电磁场作用，形成与耦合线圈同心的涡流区，强大的电流产生的高热，从而形成火炬形状的并可以自持的等离子体，由于高频电流的趋肤效应及内管载气的作用，使等离子体呈环状结构。

样品被载气(氩气)带入原子化系统进行原子化后，以气溶胶的形式进入等离子体的轴向通道，在高温和惰性气氛中充分蒸发、原子化、电离和激发，发射出所含元素的特征谱线。根据特征谱线的有无，鉴别样品是否含有某些元素(定性分析)；根据特征谱线的强度确定样品中相应元素的含量(定量分析)。

电感耦合等离子体是目前原子发射光谱的主要光源。等离子体具有环状结构、高温、高电子密度和惰性气氛的特点。用电感耦合等离子体作为激发光源，检测限低，线性范围宽，电离和化学干扰小，准确度和精密度高。