ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱仪，主要用途是进行化学元素分析检测，特别是对金属元素分析最擅长，也能分析B、P、As等非金属元素。他和ICP-OES、AAS是化学元素分析的常用的三种仪器，ICPMS的检测限最低，可以达到PPT（10的负12次方）级。电感耦合等离子体质谱中使用的电离源是电感耦合等离子体，与原子发射光谱仪中使用的电感耦合等离子体相同。它的主体是由三层应时套管组成的火炬管，火炬管的上端缠绕有负载线圈。三层管从内到外分别供给载气、辅助气体和冷却气体。负载线圈由高频电源耦合和供电，以产生垂直于线圈平面的磁场。如果氩被高频装置电离，氩离子和电子将在电磁场的作用下与其他氩原子碰撞，产生更多的离子和电子，形成涡流。强电流产生高温，瞬间使氩气形成温度高达10000千的等离子炬。当样品被载气带入等离子炬时，样品会蒸发、分解、激发和电离。辅助气体用于维持等离子体，所需量约为1 L/min。冷却气体沿切线方向引入外管，产生螺旋气流，使负荷盘管处的外管内壁冷却，冷却气体的流速为10-15 L/min。